產(chǎn)品目錄
Product Category熱點新聞
hot newsProportion-Air QB3電氣比例閥——激光充電室流量控制
下圖顯示了一個激光充電室流量控制應(yīng)用程序,該應(yīng)用程序需要可以動態(tài)調(diào)整的3種氣體混合物。
使用了三個F系列閉環(huán)流量控制器- 每個氣體控制一個??梢酝ㄟ^調(diào)節(jié)相應(yīng)流量控制器的指令信號來改變混合物。由于這是一個閉環(huán)控制方案,來自流量監(jiān)視器的信號可用于數(shù)據(jù)采集。該信號在FQPV2主電氣連接器的引腳5上可用。
在此應(yīng)用中還使用QB3來控制裝料室中的真空。真空度是一個關(guān)鍵部件,需要可重復(fù)控制以幫助保持充電室中每種氣體的適當(dāng)水平。